ドライエッチングでSiO2を削るときに使うガスC4F8!

どうも!   研究室に入り、ドライエッチングで導波路を削ったりする事も多いと思います。   そんなとき、ドライエッチングでSiO2を削るのに適した物を紹介し … 続きを読む ドライエッチングでSiO2を削るときに使うガスC4F8!