人生の全てをコンテンツ化して「楽しみながら稼ぐ」生き方

大学在学中に月収40万円を自動化させた誰でも始められる7つのブログ戦略の電子書籍を無料プレゼント
月収100万円を完全に自動で稼ぎ自由な人生を送る方法

ブログビジネス大百科

月収100万円を完全に自動で稼ぎ自由な人生を送る方法

ブログビジネス大百科

ドライエッチングでSiO2を削るときに使うガスC4F8!

ナベヤン
WRITER
 
SiO2,ドライエッチング,C4F8
この記事を書いている人 - WRITER -
ナベヤン
浪人したにもかかわらず、大学受験に失敗し後期試験の大学に収まる。入学後寮で1個下の同じ高校の現役東大合格者と同部屋になり、学歴コンプレックスが噴出する。またアルバイトで某ハンバーガーショップで働くも奴隷のように雇われることに疑問を持ち、大学3年生の半ばにブログで塾を作ることで起業。受験でネット業界を制圧した。
詳しいプロフィールはこちら

どうも!

 

研究室に入り、ドライエッチングで導波路を削ったりする事も多いと思います。

 

そんなとき、ドライエッチングでSiO2を削るのに適した物を紹介したいと思います。
   
このガスをつかうことで、導波路を異方性でエッチングする事が出来ます。
  
というのも、

C4F8,保護膜    
C4F8のようなカーボンを含むガスは、『ポリマー』を作るのです。
  
なので、このように基板の上に『保護膜』ができます。
  


この保護膜により横方向の削れを防ぐ事が出来ます。
 
 
これによって、異方性良く削る事が出来ます!
 
   
一方SF6というガスを使うと、フッ素系のラジカルがガンガン削っていきます
  
これによって、
等方的に削れてしまいます!
等方性,エッチング,SF6 このようになります。

   

 

SiO2のドライエッチングに使ったガスとは?

今回SiO2を削るのは、導波路を作るためです。なので、『異方性エッチング』である方が好ましいです。
   
ということで、今回使ったのが、『C4F8(オクタフルオロシクロブタン)』です。
   
C4F8
C4F8,オクタフルオロシクロブタン
  
C4F8は、『ポリマー』になります。


 

C4F8を使う上での注意点

さきほど言ったようにC4F8は、保護膜によって、異方性エッチングが実現すると言うメリットも在りますが、これがデメリットにもなります。
   
このC4F8の使用上の注意点を見ていきましょう。
 

C4F8の保護膜が基板表面に、、、

エッチングってもちろんですが、基板を削るためのものですよね。
  
でも、このC4F8は削るどころか堆積する事が在るのです。
   
先ほどの保護膜と同様のものが、表面上に出来てしまう事が在ります!

   
すると、削るどころか、何かが乗っかって膜厚が増えてしまっていました。
   
僕はそれをエリプソメーターで膜厚を測定しようとしたのですが、バグリました。
   
はい、こういうときは、30Paほどのバイアスを掛けましょう!
   
バイアスを掛けるといい感じに削る事が出来ます!


C4F8の1次圧が0、、もうガスが無い、、、?

C4F8のボンベを見て、『全くガスがない』と思った事が在りました。
   
そう、つまり、いままで出して来た『エッチングレート』全て無駄になった、、、、そう思いました。

C4F8,1次圧
   
しかし、これにはカラクリがありました。

C4F8,蒸気圧曲線 このように見ると、だいたい20°で、
0.35MPaくらい、、、
つまり、
3.5×105Paとなります。

   
大気圧の3倍くらい、、、
   
なので、圧力的に『液体』なのです。ということから『圧力が低い』=『もうガスが無い』と言うわけでは在りません。!
   
騙されないでください!

まとめ!

SiO2を削って、導波路を作りたい場合は、C4F8で異方性よく削っていきましょう!


この記事を書いている人 - WRITER -
ナベヤン
浪人したにもかかわらず、大学受験に失敗し後期試験の大学に収まる。入学後寮で1個下の同じ高校の現役東大合格者と同部屋になり、学歴コンプレックスが噴出する。またアルバイトで某ハンバーガーショップで働くも奴隷のように雇われることに疑問を持ち、大学3年生の半ばにブログで塾を作ることで起業。受験でネット業界を制圧した。
詳しいプロフィールはこちら

- Comments -

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です

Copyright© 情報発信で自由な人生を手に入れるブログ , 2017 All Rights Reserved.