アライメントマークとは?重ね合わせ露光について

半導体プロセスで書かせないリソグラフィ。   そしてリソグラフィの過程で、基盤に何度もパターンを形成しなければならない事もあります。   1回目の露光をした … 続きを読む アライメントマークとは?重ね合わせ露光について