アライメントマークとは？重ね合わせ露光について

2016年7月11日

2019年10月29日

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ナベヤン

　

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ナベヤン

浪人したにもかかわらず、大学受験に失敗し後期試験の大学に収まる。入学後寮で１個下の同じ高校の現役東大合格者と同部屋になり、学歴コンプレックスが噴出する。またアルバイトで某ハンバーガーショップで働くも奴隷のように雇われることに疑問を持ち、大学３年生の半ばにブログで塾を作ることで起業。受験でネット業界を制圧した。

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半導体プロセスで書かせないリソグラフィ。

そしてリソグラフィの過程で、基盤に何度もパターンを形成しなければならない事もあります。

１回目の露光をしたあとに、精度良く次の露光をするときに、同じ位置にすることはかなり難しいです。

なので、位置を合わせるための、『位置合わせマーク』が必要になります。

この位置合わせマークの事を『アライメントマーク』と言います。

アライメントマークの上にレジストが塗られたらどうする？

まず１つ目の露光をします。
そしてエッチングしてパターニングを
します。

そうすると、次の露光をするとき、
レジストを塗布しますので、

レジストに覆われているアライメントを
気付く事が必要になります。

なので、
『反射電子像』を観測する必要があります。

反射電子像とは、
入射電子が原子に衝突して広報愛面に反射され、試料表面から飛び出した電子による像であり、反射電子の強度は試料の原子番号が大きいほど大きい

反射電子のエネルギーは入射電子のエネルギーに近いので、脱出深さは深く、レジストを通過しうる。

なのでこのように汚れが多少ついていても通過してマークを検出する事が出来ます。

アライメントマークに適した原子

アライメントマークは反射電子像を得て確認するとお話ししました。

そしてこの反射電子像は、原子番号が大きいほど良いのでした。なので一般的にAu(金)原子番号79が用いられます。

100nm程度の厚さの十字のマークを形成します。

このマークを機転にして、露光を行う事で一合わせを行います。